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中国国家电子级超纯水标准GB/T11446.1-1997

作者:彰华水处理 浏览次数:3202 日期:2014.05.27
中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准
 指标\级别
 EW-Ⅰ
 EW-Ⅱ
EW-Ⅲ 
EW-Ⅳ
电阻率 MΩ,cm(25℃)
18以上,(95%时间)不低于17
15,(95%时间)不低于13
 12.0   
0.5   
全硅,最大值,μg/L
2
10
50
1000
1μm微粒数,最大值,个/mL
0.1
5
10
500
 细菌个数,最大值,个/mL
0.01
0.1
10
100
 铜,最大值,μg/L
0.2
1
2
500
 锌,最大值,μg/L
0.2
1
5
500
 镍,最大值,μg/L
0.1
1
2
500
 钠,最大值,μg/L
0.5
2
5
1000
 钾,最大值,μg/L
0.5
2
5
500
 氯,最大值,μg/L
1
1
10
1000
 硝酸根,最大值,μg/L
1
1
5
500
 磷酸根,最大值,μg/L
1
1
5
500
 硫酸根,最大值,μg/L
1
1
5
500
 总有机酸,最大值,μg/L
20
100
200
1000